非接触原子間力顕微鏡を用いたLaAlO<sub>3</sub>(100)表面の原子分解能測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-2H-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1259

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

非接触原子間力顕微鏡を用いたLaAlO₃(100)表面の原子分解能測定

*勝部大樹, 高瀬勇太郎, 山下隼人, 阿保智, 若家冨士男, 阿部真之

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キーワード: 13p-2H-2, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, 界面、ヘテロ構造, 原子間力顕微鏡, 表面

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