応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第76回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 15a-4E-2
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

マイクロマシン技術を用いた 12 inch Si 基板光学系のX線反射実証
*沼澤 正樹, 江副 祐一郎, 石川 久美, 小川 智弘, 佐藤 真柚, 中村 果澄, 大橋 隆哉, 満田 和久, 前田 龍太郎, 廣島 洋, 倉島 優一, 野田 大二
著者情報
キーワード: 15a-4E-2, ビーム応用, X線技術, X線結像光学系, X線結像光学系, 12インチシリコン基板, MEMS
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