応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第76回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 15p-4C-2
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

独立電圧印加型Filed Plate電極を用いたAlGaN/GaN HEMTのキャリア捕獲・放出解析
*間瀬 駿, 分島 彰男, 江川 孝志
著者情報
キーワード: 15p-4C-2, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, 半導体, 窒化ガリウム, フィールドプレート
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