応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第76回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 16p-4C-3
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第一原理計算によるSiC熱酸化中における炭素原子消失メカニズム
*松下 雄一郎押山 淳
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