多波回折条件下における高位置分解能Ｘ線トポグラフィ I. 原理と特長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-1E-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_3275

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

多波回折条件下における高位置分解能Ｘ線トポグラフィ I. 原理と特長

*松井純爾, 津坂佳幸, 竹田晋吾, 高野秀和, 横山和司, 篭島靖

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キーワード: 13p-1E-11, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, X線評価, 高空間分解能Ｘ線トポグラフィ, 多波回折, 転位

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