エレクトロクロミック特性を有するニッケル化合物の水蒸気を原料とした高速反応性スパッタリング

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21p-H103-21

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

エレクトロクロミック特性を有するニッケル化合物の水蒸気を原料とした高速反応性スパッタリング

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