応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 21p-H113-14
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フィードバック冷却によるマイクロ片持ち梁の熱振動制振の限界
*鐘ヶ江 力鍛治 元晴高城 亮馬河村 良行
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© 2016 公益社団法人 応用物理学会
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