半導体露光用エキシマレーザのビーム面内偏光度分布の測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 20a-S224-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1623

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

半導体露光用エキシマレーザのビーム面内偏光度分布の測定

*手井大輔, 熊崎貴仁, 對馬弘明, 黒須昭彦, 太田毅, 松永隆, 溝口計

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キーワード: 20a-S224-4, ビーム応用, 微細パターン・微細構造形成技術, 光リソ, エキシマレーザ

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