応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 22a-W611-1
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

ハイブリッド対向スパッタによるITO透明導電膜作製-可動棒磁石移動距離依存性-
*諸橋 信一, 辻田 圭佑, 谷本 司, 原田 直幸, 村田 卓也
著者情報
キーワード: 22a-W611-1, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, CVD・PVD・スパッタリング, ハイブリッド対向スパッタ, ITO 薄膜
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