応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 22a-W611-2
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プラズマ支援反応性スパッタリングを用いたアモルファスIGZO薄膜トランジスタの低温形成
節原 裕一中田 慶太郎佐竹 義且*竹中 弘祐内田 儀一郎江部 明憲
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© 2016 公益社団法人 応用物理学会
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