多結晶AZO透明導電膜のキャリア輸送に対する結晶粒界の影響(Ⅲ)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 20a-S222-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3960

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

多結晶AZO透明導電膜のキャリア輸送に対する結晶粒界の影響(Ⅲ)

*宇於崎涼介, 渡辺恭輔, 池永訓昭, 宮田俊弘, 南内嗣

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キーワード: 20a-S222-5, 合同セッションＫ, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 透明導電膜, ZnO

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