直流マグネトロンスパッタ多結晶 Al 添加 ZnO 透明導電膜の配向秩序特性及びキャリア輸送特性に与える Al 添加量の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 20a-S222-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3961

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

直流マグネトロンスパッタ多結晶 Al 添加 ZnO 透明導電膜の配向秩序特性及びキャリア輸送特性に与える Al 添加量の影響

*野本淳一, 牧野久雄, 山本哲也

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キーワード: 20a-S222-6, 合同セッションＫ, 合同セッションＫワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 透明導電膜, 透明酸化物, ZnO

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