応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 20a-S222-7
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

プラズマ発光制御を用いた反応性スパッタ法によるITOおよびIZO透明導電膜の成膜
*宮崎 裕介, 丸山 恵莉, 賈 軍軍, 待永 広宣, 宮崎 司, 重里 有三
著者情報
キーワード: 20a-S222-7, 合同セッションＫ, 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス, 透明導電膜, スパッタリング, ITO, IZO
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