幾何光学と波動光学の連成解析によるウェハ厚さ計測の誤差特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21p-P15-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_839

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

幾何光学と波動光学の連成解析によるウェハ厚さ計測の誤差特性

*小貫哲平, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波

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キーワード: 21p-P15-1, 光・フォトニクス, 光計測技術・機器, 干渉計測，偏光計測, ウェハ厚さ計, ファブリ-ペロー干渉, 分光

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