Siナノウォール構造の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13a-D61-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1573

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

Siナノウォール構造の作製

*篠塚敦史, 徐学俊, 澤野憲太郎, 吉葉修平, 平井政和, 市川幸美, 小長井誠

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キーワード: 13a-D61-6, ビーム応用, 微細パターン・微細構造形成技術, 電子・イオンビームリソ, Siナノウォール, 太陽電池

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