UHVスパッタエピタキシー法により成長したZnS層のアニール処理

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-D61-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3061

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

UHVスパッタエピタキシー法により成長したZnS層のアニール処理

*長尾英和, 永嶌怜温, 渡邊和樹, 水野愛, 安藤毅, 篠田宏之, 六倉信喜

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キーワード: 13p-D61-2, 結晶工学, II-VI族結晶および多元系結晶, 成長, 硫化亜鉛

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