応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 14p-P9-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

水素ラジカルを用いた選択加熱によるn+ 4H-SiCへのオーミック電極形成
荒井 哲司, 上村 和貴, 山本 千綾, 白倉 麻依, 有元 圭介, 山中 淳二, *中川 清和, 高松 利行, 荻野 正明, 立岡 正明, 中澤 治雄
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キーワード: 14p-P9-6, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, 電極, SiC, オーミック電極
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© 2016 公益社団法人 応用物理学会
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