長時間成長停止したCZ Si結晶(Ⅲ) -転位群のSRトポグラフィ-

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15a-A23-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3310

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

長時間成長停止したCZ Si結晶(Ⅲ) -転位群のSRトポグラフィ-

*松井純爾, 津坂佳幸, 鶴丸哲也, 阿部孝夫

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キーワード: 15a-A23-5, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, 転位, シリコン, 転位, Ｘ線トポグラフィ

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