AlN結晶成長の昇華法におけるシード面近傍の物質流束解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 15p-503-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3404

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

AlN結晶成長の昇華法におけるシード面近傍の物質流束解析

*間地雄大, 中野智, 柿本浩一

著者情報

キーワード: 15p-503-1, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MOVPE）, 輸送シミュレーション, 昇華法, AlN結晶成長

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