応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第78回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 7p-A412-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

タングステンカーバイド中間層を用いた水素フリーDLC膜の密着性改善
*磯野 凌, 谷本 壮, 飯島 佑史, 針谷 達, 須田 善行, 滝川 浩史, 神谷 雅男, 金子 智, 瀧 真
著者情報
キーワード: 7p-A412-8, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 非晶質カーボン薄膜, ダイヤモンドライクカーボン膜, タングステンカーバイド膜, フィルタードアーク蒸着法
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