ダイヤコーティング工具への各種DLC膜のオーバーコート

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 7p-A412-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1328

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

ダイヤコーティング工具への各種DLC膜のオーバーコート

*出貝敏, 飯島佑史, 針谷達, 谷本壮, 須田善行, 滝川浩史, 権田英修, 神谷雅男, 瀧真

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キーワード: 7p-A412-9, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 非晶質カーボン薄膜, ダイヤモンドライクカーボン, ダイヤモンド, 工具

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