大規模NBDマップの解析により明らかにする個々の多結晶SiナノワイヤTFT中の粒界構造と素子特性との対応関係

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 8a-C18-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_2980

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

大規模NBDマップの解析により明らかにする個々の多結晶SiナノワイヤTFT中の粒界構造と素子特性との対応関係

*浅野孝典, 高石理一郎, 小田穣, 佐久間究, 齋藤真澄, 田中洋毅

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キーワード: 8a-C18-12, 半導体, デバイス／集積化技術, 信頼性技術、評価測定技術, TFT, 粒界, NBD

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