日本信頼性学会誌 信頼性
Online ISSN : 2424-2543
Print ISSN : 0919-2697
ISSN-L : 0919-2697
LSIの故障解析の為の加工技術-その3-
真田 克
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1999 年 21 巻 1 号 p. 11-21

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抄録

LSIを故障解析する際に用いる加工技術について紹介する。本解説では-その1、その2-に続き、筆者が直接絡んだ技術から、FLB (Focused Laser Beam)加工および、RIE (Reactive Ion Etching)加工に関して説明を行う。

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© 1999 日本信頼性学会
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