応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第65回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 17p-P12-2
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

GaN基板上のp-GaNエピ膜に対するショットキーバリア特性
*松山 秀昭, 上野 勝典, 高島 信也, 田中 亮, 福島 悠太, 江戸 雅晴
著者情報
キーワード: 17p-P12-2, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, 半導体, p-GaN, ショットキーバリア
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