H<sub>2</sub>SとWF<sub>6</sub>ガスソースを用いたWS<sub>2</sub>のCVD形成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第65回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19a-P6-67

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_3998

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

H₂SとWF₆ガスソースを用いたWS₂のCVD形成

*岡田直也, 張文馨, 古賀健司, 入沢寿史

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キーワード: 19a-P6-67, ナノカーボン, 層状物質, 成長技術, WS2, CVD

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