Si(001)/SiO<sub>2</sub>界面欠陥の化学ポテンシャル依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21a-135-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_2770

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

Si(001)/SiO₂界面欠陥の化学ポテンシャル依存性

*河合宏樹, 中崎靖, 金村貴永, 石原貴光

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キーワード: 21a-135-3, 半導体, Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション, 界面, 密度汎関数理論, シリコンデバイス, 欠陥

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