酸素アニールされたInGaZnO<sub>4</sub>バルク単結晶の輸送特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20a-PA4-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_2830

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

酸素アニールされたInGaZnO₄バルク単結晶の輸送特性

*小林裕樹, 田中佑典, 君塚昇, 藤井武則, 宮川宣明

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キーワード: 20a-PA4-12, 半導体, 探索的材料物性・基礎物性, 不純物，欠陥，深い準位, IGZO

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