X線ナノビームによる1-100反射を用いたGaNナノワイヤ側壁上m面Ga<sub>1-x</sub>In<sub>x</sub>N/GaN量子井戸の構造評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-146-21

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3289

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

X線ナノビームによる1-100反射を用いたGaNナノワイヤ側壁上m面Ga_1-xIn_xN/GaN量子井戸の構造評価

*近藤剣, 清木良麻, 今井康彦, 隅谷和嗣, 木村滋, 高木健太, 後藤七美, 市川貴登, 今井大地, 上山智, 宮嶋孝夫

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キーワード: 19p-146-21, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, ナノ構造, 窒化物半導体, ナノワイヤ, X線回折

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