Si含有DLC膜の局所構造解析（Ⅱ）

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 9p-PA3-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_1256

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

Si含有DLC膜の局所構造解析（Ⅱ）

*神田一浩, 長谷川孝行, 赤坂大樹

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キーワード: 9p-PA3-1, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 非晶質カーボン薄膜, Si含有DLC膜, X線吸収微細構造

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