形状の異なる 2 種類の EDTA 錯体を原料とした金属酸化物膜の合成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 9a-W323-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_1393

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

形状の異なる 2 種類の EDTA 錯体を原料とした金属酸化物膜の合成

*菊池泰斗, 中村淳, 小松啓志, 齋藤秀俊

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キーワード: 9a-W323-7, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, EDTA錯体, 金属酸化物膜

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