結晶性酸化物半導体の組成評価とFET特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 10p-W241-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_247

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

結晶性酸化物半導体の組成評価とFET特性

*岡崎健一, 生内俊光, 保坂泰靖, 山﨑舜平

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キーワード: 10p-W241-3, シンポジウム, 金属酸化物による新技術の開拓Ⅰ～薄膜形成からデバイス創出に至るまで～, 酸化物半導体

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