逆解析によるRF-TSSG 法によるSiC 結晶成長時のるつぼ温度最適化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 9p-S422-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_3065

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

逆解析によるRF-TSSG 法によるSiC 結晶成長時のるつぼ温度最適化

*岡野泰則, 堀内鷹之, 関本敦, 宇治原徹

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キーワード: 9p-S422-10, 結晶工学, バルク結晶成長, バルク結晶, 数値計算, SiC, TSSG法

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