パルスアークプラズマジェット中心軸への炭素源ガス供給によるDLC膜の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第67回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 15a-D221-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.1.0_1303

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 67

開催地: 上智大学四谷キャンパス

開催日: 2020/03/12 - 2020/03/15

パルスアークプラズマジェット中心軸への炭素源ガス供給によるDLC膜の作製

*富永凌也, 針谷達, 滝川浩史, 國次真輔, 金子智, 権田英修, 神谷雅男

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キーワード: 15a-D221-2, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 非晶質カーボン薄膜, ダイヤモンドライクカーボン, プラズマジェット

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