機械学習を活用したclosed-loop optimizationによるエピタキシャルTiN薄膜成長と超伝導特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-Z15-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1341

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

機械学習を活用したclosed-loop optimizationによるエピタキシャルTiN薄膜成長と超伝導特性

*大久保勇男, 侯柱锋, Jiyeon N. Lee, 相澤俊, Mikk Lippmaa, 知京豊裕, 津田宏治, 森孝雄

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キーワード: 19p-Z15-8, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, 機械学習, 分子線エピタキシー, 遷移金属窒化物

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