応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19a-P04-7
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

CVD法によるMoS2の形態制御とプラズマ処理による硫黄欠陥密度の最適化
*浅田 柊哉, 荻野 明久
著者情報
キーワード: 19a-P04-7, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, 表面処理・表面改質・表面修飾, プラズマ, MoS2, 薄膜
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