応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19a-P02-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

DLC高速成膜のための同軸ガス供給パルスアークプラズマジェット源の開発
*針谷 達, 富永 凌也, 大浦 曜, 滝川 浩史, 鈴木 耕拓, 國次 真輔, 権田 英修
著者情報
キーワード: 19a-P02-9, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, アーク・プラズマジェット応用, ダイヤモンドライクカーボン, アークプラズマジェット
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