応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第68回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19a-P04-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

Al(CH3)3凝縮層の酸素プラズマ照射によるAl2O3低温形成と物性評価
*大川 敦輝, 山田 大地, 王谷 洋平, 佐藤 哲也
著者情報
キーワード: 19a-P04-8, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, 成膜・表面処理装置および制御技術, 半導体, トリメチルアルミニウム, 極低温
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