ダイヤモンドパワー半導体～ウェハ・プロセス・デバイス～

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 16p-Z07-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_161

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

ダイヤモンドパワー半導体～ウェハ・プロセス・デバイス～

*徳田規夫, 張旭芳, 松本翼, 猪熊孝夫, Christoph E. Nebel, 山崎聡

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キーワード: 16p-Z07-5, シンポジウム, パワーデバイスの最新動向と今後の展望, 半導体, ダイヤモンド, MOSFET

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