4H-SiC単結晶の昇華法オフ角成長における貫通らせん転位の変換挙動

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-Z28-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2662

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

4H-SiC単結晶の昇華法オフ角成長における貫通らせん転位の変換挙動

*江藤数馬, 三谷武志, 百瀬賢治, 加藤智久

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キーワード: 17a-Z28-2, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, バルク結晶, SiC, 結晶成長, 転位

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