水晶振動子質量測定によるNb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>室温ALDの素反応評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第68回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 16p-Z29-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2724

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 68

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/03/16 - 2021/03/19

水晶振動子質量測定によるNb₂O₅室温ALDの素反応評価

*吉田一樹, 齋藤健太郎, 三浦正範, 鹿又健作, 廣瀬文彦

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キーワード: 16p-Z29-1, 非晶質・微結晶, 基礎物性・評価・プロセス・デバイス, 薄膜，多層膜，表面・界面, 原子層堆積, 酸化ニオブ, 室温成膜

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