層状窒化炭素薄膜の電気伝導の測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 22a-P02-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1306

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

層状窒化炭素薄膜の電気伝導の測定

*林竜矢, 高間滋己, 羽渕仁恵, 飯田民夫

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キーワード: 22a-P02-8, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, B-C-N系薄膜, 窒化炭素

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