動的 Shirley 法を用いた二層グラフェン中微量ドーパントのXPS測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10a-N204-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1461

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

動的 Shirley 法を用いた二層グラフェン中微量ドーパントのXPS測定

*小川修一, 山田貴壽, 沖川侑揮, 増澤智昭, 津田泰孝, 吉越章隆, 虻川匡司

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キーワード: 10a-N204-10, 薄膜・表面, 表面物理・真空, 計測法, グラフェン, XPS, インターカレーション

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