RF-MBE法によるGaInN/GaInN多重量子井戸成長と評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 10p-N102-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_2898

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

RF-MBE法によるGaInN/GaInN多重量子井戸成長と評価

*田原開悟, 山田純平, 山口智広, 名西憓之, 尾沼猛儀, 本田徹, 岸野克巳

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キーワード: 10p-N102-2, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, GaInN, RF-MBE, MQWs

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