応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第82回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 21a-P03-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

電極埋め込み型PDMS微細流路無線駆動水晶振動子マイクロバランス
*于 キ, 加藤 史仁, 須藤 豪己, 関 翔太, 増本 憲泰, 野口 裕之, 荻 博次, 松本 大, 松本 輝義
著者情報
キーワード: 21a-P03-4, 応用物理学一般, 新技術・複合新領域, センサ・センシング技術，観測法, 水晶振動子マイクロバランス, 無線, ナノインプリントリソグラフィ
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