固体ソースH<sub>2</sub>O プラズマを用いて表面処理したポリイミドテープ上のCr/Cu 電極の折り曲げ耐久性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第82回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21a-P03-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_356

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 82

開催地: ハイブリッド開催（名城大学＆オンライン）

開催日: 2021/09/10 - 2021/09/23

固体ソースH₂O プラズマを用いて表面処理したポリイミドテープ上のCr/Cu 電極の折り曲げ耐久性

*遠西美重, 佐藤美那, 松下祥子, 松谷晃宏

著者情報

キーワード: 21a-P03-5, 応用物理学一般, 新技術・複合新領域, 複合新領域, H₂Oプラズマ, ポリイミド

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2021 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top