応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第69回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 24p-E204-1
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

GCIB援用蒸着法により作製したDLCの化学結合状態
*大和田 佑, 西山 昭雄, 吉川 亮太, 田口 純志, 小松 啓志, 齊藤 信雄, 齋藤 秀俊
著者情報
キーワード: 24p-E204-1, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 非晶質カーボン薄膜, GCIB援用蒸着法, ダイヤモンドライクカーボン, 軟X線発光分光法
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