The 69th JSAP Spring Meeting 2022
セッションID: 23p-E307-16
会議情報
主催:
The Japan Society of Applied Physics
会議名:
応用物理学会春季学術講演会
回次:
69
開催地:
ハイブリッド開催(青山学院大学+オンライン)
開催日:
2022/03/22 - 2022/03/26
Substrate Impurity Concentration Dependence of Sub-threshold Swing of Si n-channel MOSFETs at Cryogenic Temperature