MOVPE成長温度とメサの大きさがステップフリーAlN膜の表面形態に与える影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第69回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 25a-E203-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2696

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 69

開催地: ハイブリッド開催（青山学院大学＋オンライン）

開催日: 2022/03/22 - 2022/03/26

MOVPE成長温度とメサの大きさがステップフリーAlN膜の表面形態に与える影響

*山中祐人, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 上杉謙次郎, 三宅秀人

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キーワード: 25a-E203-4, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MOVPE）, 窒化物半導体, 有機金属気相成長, 表面形態

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