抄録
環境調和型ELID研削加工技術の構築を目指して,植物を原料とするカーボンを用いたELID研削用導電性カーボンボンドダイヤモンドホイールの試作を行った.カーボンホイールに電解ドレッシングを施すと,ホイール表面に研削液成分の酸化物による不導体被膜が形成された.その被膜は摩擦係数が高く,とくにアシカーボンホイールの被膜はホテイアオイカーボンホイールの被膜と比べて耐摩耗性がよいことがわかった.植物カーボンを評価することを目的として#1200砥粒を用いたアシカーボンレジンボンドダイヤモンドホイールを製作し加工特性について調査を行った.植物カーボンホイールとELID研削を組み合わせることにより,単結晶シリコンに対し加工面粗さRa:5.2nmを達成した.