ドレス条痕の砥石真円度への影響および多条ドレス原理と研削効果
公開日: 2020/10/15 | 63 巻 7 号 p. 365-371
市原 浩一
傾斜ドレッシング法を用いた砥石面性状の改善に関する研究
公開日: 2008/11/20 | 50 巻 11 号 p. 654-659
森本 喜隆, 市田 良夫, 佐藤 隆之介, 横田 肇
研磨助剤としてのウルトラファインバブルの可能性
公開日: 2026/06/10 | 70 巻 6 号 p. 347-352
赤羽 優子, 虻川 匡司, 水谷 正義
パワーエレクトロニクス用SiCウェーハの高能率CMPプロセスの開発
公開日: 2016/11/25 | 60 巻 8 号 p. 454-459
平野 真也, 河田 研治, 浅水 啓州, 加藤 智久
2次元切削の可視化による切削現象の研究
公開日: 2006/08/11 | 49 巻 1 号 p. 24-29
竹島 卓哉, 森田 昇, 山田 茂, 高野 登, 大山 達雄
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